NA 062

DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)

Norm-Entwurf [NEU]

DIN 50989-5
Ellipsometrie - Teil 5: Modell Mehrfachschichten und periodische Schichten; Text Deutsch und Englisch

Titel (englisch)

Ellipsometry - Part 5: Multiple layers and periodic layers model; Text in German and English

Einführungsbeitrag

Dieses Dokument legt mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung das Verfahren zur Bestimmung der Gesamtschichtdicke des Schichtsystems und der Schichtdicken von Einzelschichten in Mehrfachschicht- beziehungsweise periodischen Schichtsystemen sowie deren optischen beziehungsweise dielektrischen Konstanten/Funktionen auf Basis des Modells Mehrfachschichten und periodische Schichten fest. Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-01-61 AA "Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme" des DIN-Normenausschusses Materialprüfung (NMP) erarbeitet.

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-01-61 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme 

Ausgabe 2023-03
Erscheinung 2023-01-27
Frist zur Stellungnahme bis 2023-03-27
Originalsprache Deutsch, Englisch
Preis ab 95,30 €
Inhaltsverzeichnis

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