DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
DIN 50989-5
Ellipsometrie - Teil 5: Modell Mehrfachschichten und periodische Schichten; Text Deutsch und Englisch
Ellipsometry - Part 5: Multiple layers and periodic layers model; Text in German and English
Einführungsbeitrag
Dieses Dokument legt mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung das Verfahren zur Bestimmung der Gesamtschichtdicke des Schichtsystems und der Schichtdicken von Einzelschichten in Mehrfachschicht- beziehungsweise periodischen Schichtsystemen sowie deren optischen beziehungsweise dielektrischen Konstanten/Funktionen auf Basis des Modells Mehrfachschichten und periodische Schichten fest. Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-01-61 AA "Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme" des DIN-Normenausschusses Materialprüfung (NMP) erarbeitet.
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-01-61 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme
