DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
DIN 50451-2
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 2: Calcium (Ca), Cobalt (Co), Chrom (Cr), Kupfer (Cu), Eisen (Fe), Nickel (Ni) und Zink (Zn) in Flusssäure mittels Plasma-angeregter Emissionsspektrometrie
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of trace elements in liquids - Part 2: Calcium (Ca), cobalt (Co), chromium (Cr), copper (Cu), Iron (Fe), nickel (Ni) and zinc (Zn) in hydrofluoric acid with plasma-induced emission spectroscopy
Änderungsvermerk
a) Anwendungsbereich erweitert auf verdampfbare Flüssigkeiten, Calcium und Zink; b) Abschnitte "Normative Verweisungen", "Begriffe" und "Herstellen der Leerwertlösungen" aufgenommen; normative Verweisungen aktualisiert; c) zweites, alternatives Reinigungsverfahren zugelassen; Festlegungen für Pipettenspitzen getroffen; d) Festlegungen zur Probenahme geändert; e) Parameter zur Vorbehandlung der Proben geändert; Versetzung des Rückstandes zusätzlich mit Salpetersäure festgelegt; f) Wellenlängen für die Messung der Lösung empfohlen; g) Abschnitt "Kalibrierung" präzisiert; h) Berechnung von Anreicherungsfaktoren zur Ermittlung des Mittelwertes der Leerwerte festgelegt; i) Elemente, für die die Präzision des Verfahrens ermittelt wurde, angegeben; j) im Prüfbericht anzugebende Parameter ergänzt; k) Inhalt redaktionell überarbeitet.
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Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-02-21 AA - Prüfung von Prozessmaterialien für die Halbleitertechnologie
