DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
DIN 50451-5
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 5: Leitlinie zur Auswahl von Werkstoffen und Prüfung ihrer Eignung für Geräte zur Probenahme und Probenvorbereitung für die Elementspuren-Bestimmung im Bereich von Mikrogramm je Kilogramm und Nanogramm je Kilogramm
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of trace elements in liquids - Part 5: Guideline for the selection of materials and testing of their suitability for apparatus for sampling and sample preparation for the determination of trace elements in the range of micrograms per kilogram and nanograms per kilogram
Einführungsbeitrag
Dieses Dokument gibt eine Leitlinie zur Auswahl von Werkstoffen und zur Prüfung ihrer Eignung für Geräte zur Probennahme und Probenvorbereitung, die für die Bestimmung von Verunreinigungen in hochreinen Chemikalien für die Halbleitertechnologie eingesetzt werden. Es gilt für Bestimmungen von Elementspuren in den Bereichen von Mikrogramm je Kilogramm und Nanogramm je Kilogramm. Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-02-21 AA "Prüfung von Prozesschemikalien für die Halbleitertechnologie" im DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP) erarbeitet.
Änderungsvermerk
Gegenüber DIN 50451-5:2010-03 werden folgende Änderungen vorgenommen: a) Aufnahme von "modifiziertem PTFE (M-PTFE)" als geeigneter Werkstoff in Abschnitt 5 "Kriterien für die Auswahl geeigneter Gerätewerkstoffe"; b) Fußnote "e - außer H<(tief)3>PO<(tief)4>" wurde aus Tabelle 1 entfernt; c) die Vorgehensweise in 6.2 "Reinigung der Probenahme- und Probenvorbereitungsgefäße" und 6.3 "Durchführung" wurde präzisiert; d) redaktionelle Überarbeitung.
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-02-21 AA - Prüfung von Prozessmaterialien für die Halbleitertechnologie
