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NA 022

DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik in DIN und VDE

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Norm [AKTUELL]

IEC 62047-2
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 2: Prüfverfahren zur Zugbeanspruchung bei Dünnschicht-Werkstoffen

Titel (englisch)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials

Ausgabe 2006-08
Originalsprache Englisch , Französisch
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