Kurzreferat

Dieses Dokument beschreibt den Aufbau und die messtechnischen Eigenschaften von phasenschiebenden Interferometern zur flächenhaften Messung der Oberflächentopographie. Da Oberflächenprofile aus flächenhaften Oberflächentopographiedaten extrahiert werden können, können die in diesem Dokument beschriebenen Methoden auch auf Profilmessungen angewendet werden.

Beginn

2022-10-18

WI

00290255

Geplante Dokumentnummer

DIN EN ISO 25178-603

Projektnummer

15202840

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 152-03-03 AA - Oberflächen  

Zuständiges europäisches Arbeitsgremium

CEN/TC 290 - Geometrische Produktspezifikationen und -prüfung  

Zuständiges internationales Arbeitsgremium

ISO/TC 213/WG 16 - Flächen- und profilhafte Oberflächenbeschreibung  

Vorgänger-Dokument(e)

Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft - Teil 603: Merkmale von berührungslos messenden Geräten (phasenschiebende interferometrische Mikroskopie) (ISO 25178-603:2013); Deutsche Fassung EN ISO 25178-603:2013
2014-02