Norm [AKTUELL]

DIN 50450-4
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung von C₁-C₃-Kohlenwasserstoffen in Stickstoff mit Gaschromatographie

Titel (englisch)

Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and dopant gases; determination of C₁-C₃-hydrocarbons in nitrogen by gas-chromatography

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-05-73 AA - Gasanalyse und Gasbeschaffenheit  

Ausgabe 1993-09
Originalsprache Deutsch
Preis ab 34,60 €
Kaufen bei DIN Media
Inhaltsverzeichnis

Ihr Kontakt

Dipl.-Ing.

Florian Rieger

Am DIN-Platz, Burggrafenstr. 6
10787 Berlin

Tel.: +49 30 2601-2598
Fax: +49 30 2601-42598

Zum Kontaktformular