Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 16: Energieeffizienz von Reinräumen und Reinluftgeräten (ISO 14644-16:2019); Deutsche Fassung EN ISO 14644-16:2019
Ausgabe 2020-06

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 3: Prüfverfahren (ISO 14644-3:2019, korrigierte Fassung 2020-06); Deutsche Fassung EN ISO 14644-3:2019
Ausgabe 2020-08

Kerntechnische Anlagen - Oberflächensauberkeit von Komponenten
Ausgabe 2012-07

Reinigung von Luft und anderen Gasen - Terminologie (ISO 29464:2017); Deutsche Fassung EN ISO 29464:2019
Ausgabe 2020-09

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 2: Überwachung zum Nachweis der Reinraumleistung bezüglich Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration (ISO 14644-2:2015); Deutsche Fassung EN ISO 14644-2:2015
Ausgabe 2016-05

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 7: SD-Module (Reinlufthauben, Handschuhboxen, Isolatoren und Minienvironments) (ISO 14644-7:2004); Deutsche Fassung EN ISO 14644-7:2004
Ausgabe 2005-01

Schwebstofffilter (EPA, HEPA und ULPA) - Teil 1: Klassifikation, Leistungsprüfung, Kennzeichnung; Deutsche Fassung EN 1822-1:2019
Ausgabe 2019-10

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 8: Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Chemikalienkonzentration (ACC) (ISO 14644-8:2013); Deutsche Fassung EN ISO 14644-8:2013
Ausgabe 2013-06

Emissionen aus stationären Quellen - Prüfverfahren für die Charakterisierung des Filtrationsverhaltens abreinigbarer Filtermedien (ISO 11057:2011)
Ausgabe 2012-05

Ortsbewegliche Gasflaschen - Ventilanschlüsse für die Anwendung in der Mikroelektronik - Teil 2: Spezifikation und Typprüfung der Verbindungen Ventil/Flasche (ISO 10692-2:2001); Deutsche Fassung EN ISO 10692-2:2001
Ausgabe 2003-04