Veröffentlichungen von ISO/TC 201/SC 4

ISO/TR 15969 2021-03 Technische Regel Chemische Oberflächenanalyse - Tiefenprofilanalyse - Messung der gesputterten Tiefe Mehr  Kaufen bei DIN Media
ISO/TR 22335 2007-07 Technische Regel Chemische Analytik an Oberflächen - Tiefenprofilanalyse - Messung der Ionenstrahlzerstäubungs-Geschwindigkeit mittels der Gitter-Kopiermethode mit dem mechanischen Stylus Profilometer Mehr  Kaufen bei DIN Media
ISO 14606 2022-11 Norm Chemische Oberflächenanalyse - Tiefenprofilierung mit Sputtern - Optimierung durch Nutzung von Referenz-Schichtsystemen Mehr  Kaufen bei DIN Media
ISO 16531 2020-10 Norm Chemische Oberflächenanalyse - Tiefenprofilierung - Verfahren zur Einstellung des Ionenstrahls und damit verbundene Messung der Stromstärke oder der Stromdichte zur Tiefenprofilierung in AES und XPS Mehr  Kaufen bei DIN Media
ISO 17109 2022-03 Norm Surface chemical analysis - Depth profiling - Method for sputter rate determination in X-ray photoelectron spectroscopy, Auger electron spectroscopy and secondary-ion mass spectrometry sputter depth profiling using single and multi-layer thin films Mehr  Kaufen bei DIN Media
ISO 23170 2022-06 Norm Chemische Oberflächenanalyse - Tiefenprofilierung - Zerstörungsfreie Tiefenprofilierung nanoskaliger Schwermetalloxid-Dünnschichten auf Si-Substraten mit mittelenergetischer Ionenstreuung Mehr  Kaufen bei DIN Media