Norm
[AKTUELL]
ISO 23170
ISO 23170
Chemische Oberflächenanalyse - Tiefenprofilierung - Zerstörungsfreie Tiefenprofilierung nanoskaliger Schwermetalloxid-Dünnschichten auf Si-Substraten mit mittelenergetischer Ionenstreuung
Titel (englisch)
Surface chemical analysis - Depth profiling - Non-destructive depth profiling of nanoscale heavy metal oxide thin films on Si substrates with medium energy ion scattering
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-08-16 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie
