Norm
[AKTUELL]
ISO 16531
ISO 16531
Chemische Oberflächenanalyse - Tiefenprofilierung - Verfahren zur Einstellung des Ionenstrahls und damit verbundene Messung der Stromstärke oder der Stromdichte zur Tiefenprofilierung in AES und XPS
Titel (englisch)
Surface chemical analysis - Depth profiling - Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-08-16 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie
