NA 062

DIN Standards Committee Materials Testing

Standards [CURRENT]

DIN 50453-2
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of etch rates of etching mixtures - Part 2: Silicon-dioxide coating, optical method

Title (German)

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung der Ätzrate von Ätzmischungen - Teil 2: Siliciumdioxid-Schichten, Optisches Verfahren

Responsible national committee

NA 062-02-21 AA - Testing of process materials for semiconductor technology  

Edition 2023-08
Original language German
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