NA 062
DIN Standards Committee Materials Testing
Standards
[Withdrawn]
DIN 50450-3
DIN 50450-3
Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of methane impurity in H₂, O₂, N₂, Ar and He by using a flame ionization detector (FID)
Title (German)
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung von Methanverunreinigungen in Wasserstoff, Sauerstoff, Stickstoff, Argon und Helium mit einem Flammenionisationsdetektor (FID)
