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NA 062

DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)

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Norm [ZURÜCKGEZOGEN]

DIN 50446
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung der Defektarten und Defektdichten in Silicium-Epitaxieschichten

Titel (englisch)

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of defect types and defect densities of silicon epitaxial layers

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Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062 BR - Beirat des DIN-Normenausschusses Materialprüfung (NMP)  

Ausgabe 1995-09
Originalsprache Deutsch
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