NA 062
DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
Norm
[ZURÜCKGEZOGEN]
DIN 50445
DIN 50445
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Kontaktlose Messung des spezifischen elektrischen Widerstandes mit dem Wirbelstrom-Verfahren; Homogen dotierte Halbleiterscheiben
Titel (englisch)
Testing of materials for semiconductor technology; contactless determination of the electrical resistivity of semiconductor slices with the eddy current method; homogeneously doped semiconductor wafers
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Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062 BR - Beirat des DIN-Normenausschusses Materialprüfung (NMP)
