DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
ISO/DIS 4508
Chemische Oberflächenanalyse - Rastersondenmikroskopie - Leitfaden für das Verfahren und die Vorgehensweise zur Bestimmung der Temperatureffekte auf AFM-Dimensionalmessungen
Surface chemical analysis - Scanning probe microscopy - Guideline for the method and procedure for determining the temperature effects on AFM dimensional measurements
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-09-103 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie
Zuständiges internationales Arbeitsgremium
ISO/TC 201/SC 9/WG 8 - Auswirkungen der Temperatrur auf dimensionale Rasterkraftmikroskopmessungen