NA 062
DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
Norm-Entwurf
[ZURÜCKGEZOGEN]
ISO/DIS 13083
ISO/DIS 13083
Chemische Oberflächenanalyse - Rastersondenmikroskopie - Standards zur Definition und Kalibrierung der räumlichen Auflösung von Rasterausbreitungswiderstandsmikroskopie und Rasterkapazitätsmikroskopie
Titel (englisch)
Surface chemical analysis - Scanning Probe Microscopy- Standards on the definition and calibration of spatial resolution of Scanning Spreading Resistance Microscopy and Scanning Capacitance Microscopy
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-08-16 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie