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VDI/VDE 2655 Blatt 1.2
Optische Messtechnik an Mikrotopografien - Kalibrieren von konfokalen Mikroskopen und Tiefeneinstellnormalen für die Rauheitsmessung
Ausgabe
2010-10
ISO 18337
Chemische Oberflächenanalyse - Oberflächencharakterisierung - Messung der lateralen Auflösung eines konfokalen Fluoreszenzmikroskops
Ausgabe
2015-06
ISO 21073
Mikroskope - Konfokale Mikroskopie - Optische Daten von konfokalen Fluoreszenzmikroskopen für biologische Anwendungen
Ausgabe
2019-12
NF S10-500 ; NF ISO 21073:2020-04-25
Mikroskope - Konfokale Mikroskopie - Optische Daten von konfokalen Fluoreszenzmikroskopen für biologische Anwendungen
Ausgabe
2020-04-25
DIN EN ISO 25178-607
Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft - Teil 607: Merkmale von berührungslos messenden Geräten (konfokale Mikroskopie) (ISO 25178-607:2019); Deutsche Fassung EN ISO 25178-607:2019
Ausgabe
2019-12
DIN EN ISO 25178-602
Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft - Teil 602: Aufbau und Merkmale von berührungslos messenden Geräten (mit chromatisch konfokalem Sensor) (ISO 25178-602:2025); Deutsche Fassung EN ISO 25178-602:2025
Ausgabe
2025-12
DIN 32567-1
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 1: Qualitative Abschätzung der material- und verfahrensspezifischen Einflüsse
Ausgabe
2015-06
DIN EN ISO 14880-4
Optik und Photonik - Mikrolinsenarrays - Teil 4: Prüfverfahren für geometrische Eigenschaften (ISO 14880-4:2024); Deutsche Fassung EN ISO 14880-4:2024
Ausgabe
2025-04
DIN EN 62496-2-2
Optische Leiterplatten - Teil 2-2: Messungen - Abmessungen optischer Leiterplatten (IEC 62496-2-2:2011); Deutsche Fassung EN 62496-2-2:2011
Ausgabe
2011-09
DIN EN ISO 14880-3
Optik und Photonik - Mikrolinsenarrays - Teil 3: Prüfverfahren für optische Eigenschaften außer Wellenfrontaberrationen (ISO 14880-3:2024); Deutsche Fassung EN ISO 14880-3:2024
Ausgabe
2025-04