Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen - Teil 2: Bestimmung der Sauerstoffverunreinigung in Stickstoff, Argon, Helium, Neon und Wasserstoff mittels einer galvanischen Messzelle
Kurzreferat
Dieses Dokument legt ein Verfahren für die Bestimmung des Stoffmengenanteils an Sauerstoff in den Gasen nach dieser Norm fest. Dieses Dokument erfasst eine Anteilsbestimmung zwischen 1 µmol/mol und 10 µmol/mol und ist für die Analyse des Sauerstoffrestgehaltes in den Gasen Stickstoff, Argon, Helium, Neon und Wasserstoff anwendbar.
Beginn
2025-02-03
Geplante Dokumentnummer
DIN 50450-2
Projektnummer
06236881
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-05-73 AA - Gasanalyse und Gasbeschaffenheit
Ersatzvermerk
Vorgesehen als Ersatz für DIN 50450-2:1991-03
Norm-Entwurf
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen - Teil 2: Bestimmung der Sauerstoffverunreinigung in Stickstoff, Argon, Helium, Neon und Wasserstoff mittels einer galvanischen Messzelle
2025-07
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