Physikalische Gasphasenabscheidung – Magnetron-Sputter-Abscheidung von TiAlSiN-Dünnschichten – Spezifikation
Beginn
2024-06-13
Geplante Dokumentnummer
ISO/DIS 25164
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-01-64 AA - Kohlenstoffschichten und keramische Hartstoffschichten
Zuständiges internationales Arbeitsgremium
ISO/TC 107/SC 9 - Beschichtungen durch Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)
Norm-Entwurf
Physikalische Gasphasenabscheidung – Magnetron-Sputter-Abscheidung von TiAlSiN-Dünnschichten – Spezifikation
2025-10
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