DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
ISO/DIS 25164
Physikalische Gasphasenabscheidung – Magnetron-Sputter-Abscheidung von TiAlSiN-Dünnschichten – Spezifikation
Physical vapor deposition coatings - Magnetron sputtering deposition of TiAlSiN thin films - Specification
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-01-64 AA - Kohlenstoffschichten und keramische Hartstoffschichten
Zuständiges internationales Arbeitsgremium
ISO/TC 107/SC 9 - Beschichtungen durch Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)