Beginn

2024-05-24

Geplante Dokumentnummer

ISO/FDIS 19383

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-01-61 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme  

Zuständiges internationales Arbeitsgremium

ISO/TC 107/WG 5 - Atomlagenabscheidung  

Norm-Entwurf

Atomlagenabscheidung - Chemische Eigenschaften von Vorläufersubstanzen für die Atomlagenabscheidung und damit zusammenhängende Verfahrensspezifikationen
2025-05
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