2. Mitwirken
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  4. NMP
NA 062

DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)

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Norm-Entwurf [NEU]

ISO/FDIS 19383
Atomlagenabscheidung - Chemische Eigenschaften von Vorläufersubstanzen für die Atomlagenabscheidung und damit zusammenhängende Verfahrensspezifikationen

Titel (englisch)

Atomic layer deposition - Chemical characteristics and related process specifications of atomic layer deposition precursors

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-02-101 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme  

Zuständiges internationales Arbeitsgremium

ISO/TC 107/WG 5 - Atomlagenabscheidung  

Ausgabe 2026-02
Originalsprache Englisch
Preis ab 114,50 €
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