Messung der Leitfähigkeit von Metalldünnschichten bei Mikrowellen- und Millimeterwellenfrequenzen nach dem symmetrischen Kreisscheibenresonatorverfahren
Kurzreferat
Diese internationale Norm bezieht sich auf ein Verfahren zur Messung der Leitfähigkeit von dünnen Metallschichten bei Mikrowellen und Millimeterwellen-Frequenzen. Dieses Verfahren ermöglicht die Messung der Leitfähigkeit einer Metallfolie, die zur einer Metallfolie, die auf einem Substrat haftet, oder die Grenzflächenleitfähigkeit einer Metallschicht, die auf einem dielektrischen Substrat gebildet ist. Die Methode nutzt die Modenresonanzen höherer Ordnung eines Balanced-Type-Circular-Disk-Resonators (BCDR) für Breitbandmessungen mit einem einzigen Resonator zu ermöglichen. Das Dokument enthält Informationen über die Theorie, Ausrüstung, Verfahren und Anwendungsbereich der Methode.
Beginn
2023-10-18
Geplante Dokumentnummer
DIN EN IEC 61169-73
Projektnummer
02231880
