ISO 14706
Chemische Oberflächenanalyse - Bestimmung der Oberflächenkontaminationen auf Silizium-Wafern mit Hilfe der "Total X-Ray Fluorescence Spectroscopy" (TXRF)

Titel (englisch)

Surface chemical analysis - Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-08-16 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie

Zuständiges internationales Arbeitsgremium

ISO/TC 201 - Chemische Oberflächenanalyse

Ausgabe 2014-08

Originalsprache Englisch

Preis ab 154,60 €

Kaufen bei DIN Media

Inhaltsverzeichnis

PDF (EN)

Ihr Kontakt

Steffen Jenkel

Am DIN-Platz, Burggrafenstr. 6
10787 Berlin

Tel.: +49 30 2601-2058

Zum Kontaktformular

Normen kaufen

DIN SPEC-Film

DIN-Mitglied werden

Mitmachen in der Normung

Informationen für Verbraucher

Digitale Souveränität braucht Normung Jetzt Spielregeln von morgen mitgestalten

Wie sichern wir digitale Freiheit? Antworten im neuen DIN A4-Magazin

ISO 14706 Chemische Oberflächenanalyse - Bestimmung der Oberflächenkontaminationen auf Silizium-Wafern mit Hilfe der "Total X-Ray Fluorescence Spectroscopy" (TXRF)

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

Zuständiges internationales Arbeitsgremium

Steffen Jenkel

Haben Sie noch Fragen?

ISO 14706
Chemische Oberflächenanalyse - Bestimmung der Oberflächenkontaminationen auf Silizium-Wafern mit Hilfe der "Total X-Ray Fluorescence Spectroscopy" (TXRF)