ISO 14706
Surface chemical analysis - Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
Chemische Oberflächenanalyse - Bestimmung der Oberflächenkontaminationen auf Silizium-Wafern mit Hilfe der "Total X-Ray Fluorescence Spectroscopy" (TXRF)
Responsible national committee
NA 062-08-16 AA - Surface chemical analysis and scanning probe microscopy