NA 062

DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)

Norm [AKTUELL]

ISO 23170
Chemische Oberflächenanalyse - Tiefenprofilierung - Zerstörungsfreie Tiefenprofilierung nanoskaliger Schwermetalloxid-Dünnschichten auf Si-Substraten mit mittelenergetischer Ionenstreuung

Titel (englisch)

Surface chemical analysis - Depth profiling - Non-destructive depth profiling of nanoscale heavy metal oxide thin films on Si substrates with medium energy ion scattering

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-08-16 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie  

Zuständiges internationales Arbeitsgremium

ISO/TC 201/SC 4 - Untersuchungen an Tiefenprofilen  

Ausgabe 2022-06
Originalsprache Englisch
Preis ab 166,60 €
Inhaltsverzeichnis

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Steffen Jenkel

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