DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
ISO 22415
Chemische Oberflächenanalyse - Sekundärionen-Massenspektrometrie - Verfahren zur Bestimmung der Volumenausbeute bei der Tiefenprofilierung von organischen Materialien mit Argon-Cluster-Sputtern
Surface chemical analysis - Secondary ion mass spectrometry - Method for determining yield volume in argon cluster sputter depth profiling of organic materials
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-08-16 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie