DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
ISO 14606
Chemische Oberflächenanalyse - Tiefenprofilierung mit Sputtern - Optimierung durch Nutzung von Referenz-Schichtsystemen
Surface chemical analysis - Sputter depth profiling - Optimization using layered systems as reference materials
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-09-103 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie