2. Mitwirken
  3. Normenausschüsse
  4. NMP
NA 062

DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)

Über NMP Aktuelles Projekte Entwürfe Veröffentlichungen Ersatzlose Zurückziehungen Nationale Gremien Europäische Gremien Internationale Gremien
Norm [AKTUELL]

DIN 50455-2
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Verfahren zur Charakterisierung von Fotolacken - Teil 2: Bestimmung der Lichtempfindlichkeit von Positiv-Fotolacken

Titel (englisch)

Testing of materials for semiconductor technology - Methods for the characterisation photoresists - Part 2: Determination of photosensitivity of positive photoresists

Dokument: zitiert andere Dokumente

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-02-21 AA - Prüfung von Prozessmaterialien für die Halbleitertechnologie  

Ausgabe 1999-11
Originalsprache Deutsch
Preis ab 34,60 €
Kaufen bei DIN Media
Inhaltsverzeichnis

Ihr Kontakt

Denise Winter

Am DIN-Platz, Burggrafenstr. 6
10787 Berlin

Tel.: +49 30 2601-2199
Fax: +49 30 2601-42199

Zum Kontaktformular