DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
Ellipsometrie - Teil 2: Modell Volumenmaterial
Kurzreferat
Dieses Dokument legt mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung das Verfahren zur Bestimmung der optischen bzw. dielektrischen Konstanten auf Basis des Modells Volumenmaterial fest.
Beginn
2026-08-25
WI
00262397
Geplante Dokumentnummer
DIN EN ISO 23131-2
Projektnummer
06237166
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-02-101 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme
Zuständiges europäisches Arbeitsgremium
CEN/TC 262/WG 12 - Normenpflege und ISO-Koordination