NA 062
DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
Norm
[AKTUELL]
DIN 50989-2
DIN 50989-2
Ellipsometrie - Teil 2: Modell Volumenmaterial; Text Deutsch und Englisch
Titel (englisch)
Ellipsometry - Part 2: Bulk material model; Text in German and English
Einführungsbeitrag
Dieses Dokument legt mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung das Verfahren zur Bestimmung der optischen bzw. dielektrischen Konstanten auf Basis des Modells Volumenmaterial fest. Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-01-61 AA "Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme" des DIN-Normenausschusses Materialprüfung (NMP) erarbeitet.
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Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-01-61 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme
