DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
DIN EN ISO 23131-2
Ellipsometrie - Teil 2: Modell Volumenmaterial (ISO 23131-2:2026); Deutsche und Englische Fassung prEN ISO 23131-2:2026
Ellipsometry - Part 2: Bulk material model (ISO 23131-2:2026); German and English version prEN ISO 23131-2:2026
Einführungsbeitrag
Dieses Dokument legt das Verfahren zur Bestimmung der optischen beziehungsweise dielektrischen Konstanten mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung auf Basis des Modells Volumenmaterial fest. Das zuständige nationale Normungsgremium ist der Arbeitsausschuss NA 062-02-101 AA "Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme" im DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP).
Änderungsvermerk
Gegenüber DIN 50989-2:2021-04 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Übernahme als DIN EN ISO 23131-2; b) Norm redaktionell überarbeitet.
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-02-101 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme
Zuständiges europäisches Arbeitsgremium
CEN/TC 262/WG 12 - Normenpflege und ISO-Koordination