NA 062
DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
Projekt
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 9: Bestimmung von XX Elementen in Wasserstoffperoxid mittels ICP-MS
Kurzreferat
Dieses Dokument legt ein Verfahren zur Bestimmung der für die Halbleitertechnologie wichtigen Elemente XXXX in Wasserstoffperoxid im Spurenbereich fest, wobei als Bestimmungsverfahren die Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma als Ionenquelle (ICP MS, en: inductively coupled plasma mass spectrometry) eingesetzt wird.
Beginn
2025-12-09
Geplante Dokumentnummer
DIN 50451-9
Projektnummer
06236919
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-02-21 AA - Prüfung von Prozessmaterialien für die Halbleitertechnologie
