NA 062
DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
Norm-Entwurf
ISO/DIS 23131-2
ISO/DIS 23131-2
Ellipsometrie - Teil 2: Modell Volumenmaterial
Titel (englisch)
Ellipsometry - Part 2: Bulk material model
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-01-61 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme