DIN-Normenausschuss Heiz- und Raumlufttechnik sowie deren Sicherheit (NHRS)
DIN EN ISO 14644-14
Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 14: Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Geräten durch Partikelkonzentration in der Luft (ISO/FDIS 14644-14:2025); Deutsche und Englische Fassung prEN ISO 14644-14:2025
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration (ISO/FDIS 14644-14:2025); German and English version prEN ISO 14644-14:2025
Einführungsbeitrag
Dieses Dokument legt eine Methodik zur Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Geräten (zum Beispiel Maschinen, Messgeräte, Prozessausrüstung, Komponenten und Werkzeuge) für die Anwendung in Reinräumen und zugehörigen kontrollierten Bereichen in Bezug auf die luftgetragene Partikelreinheit nach den Festlegungen in ISO 14644-1 fest. Der Partikelgrößenbereich reicht von 0,1 µm bis gleich oder größer als 5 µm (in ISO 14644-1 angegeben). Das zuständige nationale Normungsgremium ist der Arbeitsausschuss NA 041-02-21 AA "Reinraumtechnik (SpA CEN/TC 243 und ISO/TC 209)" im DIN-Normenausschuss Heiz- und Raumlufttechnik sowie deren Sicherheit (NHRS).
Änderungsvermerk
Gegenüber DIN EN ISO 14644-14:2017-01 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Verweisungen aktualisiert; b) Titel in den Literaturhinweisen korrigiert; c) Verweisungen, die im Text nicht erwähnt werden, aus den Literaturhinweisen entfernt.
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 041-02-21 AA - Reinraumtechnik (SpA CEN/TC 243 und ISO/TC 209)
Zuständiges europäisches Arbeitsgremium
CEN/TC 243 - Reinraumtechnologie
