NA 027

DIN-Normenausschuss Feinmechanik und Optik (NAFuO)

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DIN 32567-5 [AKTUELL] zitiert folgende Dokumente:

Dokumentnummer	Ausgabe	Titel
DIN 32564-1	2004-05	Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Begriffe - Teil 1: Allgemeine Begriffe der Mikrosystemtechnik Mehr
DIN 32567-1	2015-06	Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 1: Qualitative Abschätzung der material- und verfahrensspezifischen Einflüsse Mehr
VDI/VDE 2655 Blatt 1.2	2010-10	Optische Messtechnik an Mikrotopografien - Kalibrieren von konfokalen Mikroskopen und Tiefeneinstellnormalen für die Rauheitsmessung Mehr