DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik in DIN und VDE
DIN EN IEC 63616
; VDE 0887-969-73:2026-07
Messung der Leitfähigkeit von Metalldünnschichten bei Mikrowellen- und Millimeterwellenfrequenzen nach dem symmetrischen Kreisscheibenresonatorverfahren (IEC 63616:2025); Deutsche Fassung EN IEC 63616:2026
Measurement of the conductivity for metal thin films at microwave and millimeter-wave frequencies - Balanced-type circular disk resonator method (IEC 63616:2025); German version EN IEC 63616:2026
Einführungsbeitrag
Dieses Dokument befasst sich mit einem Verfahren zur Messung der Leitfähigkeit dünner Metallschichten bei Mikrowellen- und Millimeterwellenfrequenzen. Dieses Verfahren wurde entwickelt, um die Leitfähigkeit einer Metallfolie, die zum Aufbringen auf ein Substrat verwendet wird, oder um die Grenzflächenleitfähigkeit einer auf einem dielektrischen Substrat ausgebildeten Metallschicht zu bestimmen. Es nutzt Moden höherer Ordnung eines symmetrischen Kreisscheibenresonators und ermöglicht Breitbandmessungen der Leitfähigkeit unter Verwendung eines einzigen Resonators. Dieses Dokument beschreibt den Prüfaufbau, die Einzelheiten der Prüfung sowie den Prüfbericht. Weiterhin sind Theorie und Berechnungsgleichungen enthalten. Es gibt keine Einschränkungen im Anwendungsbereich des Dokuments. Dieses Dokument erhöht durch seine Anwendung die Investitionssicherheit für Hersteller und Anwender, gibt Prüflaboren und Herstellern definierte Angaben zur Prüfung.
