DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik in DIN und VDE
DIN IEC/IEEE 62659
Nanofertigung - Großtechnische Produktion von Nanoelektronik (IEC/IEEE 62659:2015)
Nanomanufacturing - Large scale manufacturing for nanoelectronics (IEC/IEEE 62659:2015)
Einführungsbeitrag
Diese Norm schafft einen Rahmen für die Einführung der Massenfertigung von Nanoelektronik in Halbleiterfabriken durch die Einbindung von Nanomaterialien (zum Beispiel Kohlenstoff-Nanoröhren, Graphen, Quantenpunkte und so weiter). Seit Halbleiterfabriken neue Methoden einsetzen müssen, um weiterhin hohe Gewinne zu erwirtschaften, sind sehr strenge Anforderungen an die Produktionsprozesse einzuhalten. Nanomaterialien stellen in Halbleiterfabriken einen möglichen Kontaminationsstoff dar und müssen daher strukturiert und methodisch eingeführt werden. Diese Norm schlägt generische Maßnahmen vor, die die Einführung von Nanomaterialien in Halbleiterfabriken vereinfachen. Der Ablauf ist im Folgenden für die Bereiche Rohstoffbeschaffung, Materialverarbeitung, Design, IC-Fertigung, Prüfung und Endverwendung beschrieben. Diese Arbeitsabläufe entsprechen den Hauptstufen der Lieferkette einer Halbleiterfabrik. Zuständig ist das DKE/K 141 "Nanotechnologie" der DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik in DIN und VDE.
