Kurzreferat

Dieses Dokument legt mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung das Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke d einer transparenten Schicht sowie der optischen (Brechungsindex n) bzw. dielektrischen (Realteil ε 1) Konstanten/Funktionen in einem Spektralbereich, für den k = 0 gilt, auf Basis des Modells Transparente Einfachschicht fest.

Beginn

2026-08-25

WI

00262396

Geplante Dokumentnummer

DIN EN ISO 23131-3

Projektnummer

06237167

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-02-101 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme  

Zuständiges europäisches Arbeitsgremium

CEN/TC 262/WG 12 - Normenpflege und ISO-Koordination  

Zuständiges internationales Arbeitsgremium

ISO/TC 107/JWG 4 - Gemeinsame Arbeitsgruppe ISO/TC 107 - ISO/TC 35/SC 9 WG: Methoden der Schichtdickenmessung für Überzüge, Lacke und Anstrichstoffe  

Norm-Entwurf

Ellipsometrie - Teil 3: Modell transparente Einfachschicht (ISO 23131-3:2026); Deutsche und Englische Fassung prEN ISO 23131-3:2026
2026-11
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Vorgänger-Dokument(e)

Ellipsometrie - Teil 3: Modell transparente Einfachschicht; Text Deutsch und Englisch
2022-04

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