DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
DIN EN ISO 23131-3
Ellipsometrie - Teil 3: Modell transparente Einfachschicht (ISO 23131-3:2026); Deutsche und Englische Fassung prEN ISO 23131-3:2026
Ellipsometry - Part 3: Transparent single layer model (ISO 23131-3:2026); German and English version prEN ISO 23131-3:2026
Einführungsbeitrag
Dieses Dokument legt mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung das Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke d einer transparenten Schicht sowie der optischen (Brechungsindex n) beziehungsweise dielektrischen (Realteil ε1) Konstanten/Funktionen in einem Spektralbereich, für den k = 0 angewendet wird, auf Basis des Modells Transparente Einfachschicht fest. Das zuständige nationale Normungsgremium ist der Arbeitsausschuss NA 062-02-101 AA "Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme" im DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP).
Änderungsvermerk
Gegenüber DIN 50989-3:2022-04 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Übernahme als DIN EN ISO 23131-3; b) Norm redaktionell überarbeitet.
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-02-101 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme
Zuständiges europäisches Arbeitsgremium
CEN/TC 262/WG 12 - Normenpflege und ISO-Koordination