Kurzreferat

Dieses Dokument legt das Verfahren zur Bestimmung der optischen bzw. dielektrischen Konstanten mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung auf Basis des Modells Volumenmaterial fest. Sind die Annahmen des Modells Volumenmaterial streng erfüllt, können die optischen (Brechungsindex n und Extinktionskoeffizient k) bzw. dielektrischen (Realteil ε1 und Imaginärteil ε2) Konstanten des Materials direkt bestimmt werden. Anderenfalls werden die optischen ( und ) bzw. dielektrischen (<ε1> und < ε2>) Pseudo-Konstanten, die vom Einfallswinkel φ der Messung abhängen, ermittelt. Der Grad der Übereinstimmung der Pseudokonstanten im betreffenden Spektralbereich, bestimmt aus Messungen bei verschiedenen Einfallswinkeln, ist dann eine notwendige Voraussetzung für die Gültigkeit bzw. Güte des Modells Volumenmaterial.

Beginn

2026-08-25

WI

00262397

Geplante Dokumentnummer

DIN EN ISO 23131-2

Projektnummer

06237166

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-02-101 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme  

Zuständiges europäisches Arbeitsgremium

CEN/TC 262/WG 12 - Normenpflege und ISO-Koordination  

Zuständiges internationales Arbeitsgremium

ISO/TC 107/JWG 4 - Gemeinsame Arbeitsgruppe ISO/TC 107 - ISO/TC 35/SC 9 WG: Methoden der Schichtdickenmessung für Überzüge, Lacke und Anstrichstoffe  

Norm-Entwurf

Ellipsometrie - Teil 2: Modell Volumenmaterial (ISO 23131-2:2026); Deutsche und Englische Fassung prEN ISO 23131-2:2026
2026-11
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Vorgänger-Dokument(e)

Ellipsometrie - Teil 2: Modell Volumenmaterial; Text Deutsch und Englisch
2021-04

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