Fertigungsmittel für Mikrosysteme – Verfahren zur Messung der Gestalt von Mikrolinsenarrays – Teil 2: Beidseitige Messung eines Mikrolinsenarrays
Kurzreferat
Dieses Dokument legt das Verfahren für die beidseitige Messung von Mikrolinsen, Mikrolinsenarrays und Arrays von Mikrolinsenarrays fest. Das Dokument legt ein geometrisches Messverfahren zur Bestimmung von Lage- und Geometrieparametern von sphärischen und rotationssymmetrischen asphärischen Mikrolinsen sowie Lage- und Geometrieparametern von Mikrolinsenarrays und Arrays von Mikrolinsenarrays mittels taktilen und optischen Punktmessungen und optischen Flächenmessungen fest. Dieses Dokument bezieht sich auf doppelseitige Mikrolinsenarrays bei denen Mikrolinsenarrays beidseitig auf einem gemeinsamen Substrat aufgebracht sind. Die Arrays sind so angeordnet, dass jeweils zwei Linsen paarweise gegenüber angeordnet sind und ein optisches Abbildungselement ergeben.
Beginn
2026-04-07
Geplante Dokumentnummer
DIN 58557-2
Projektnummer
02703435
