DIN EN ISO 14644-14
Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 14: Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Geräten durch Partikelkonzentration in der Luft (ISO 14644-14:2026); Deutsche Fassung EN ISO 14644-14:2026
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration (ISO 14644-14:2026); German version EN ISO 14644-14:2026
Änderungsvermerk
Gegenüber DIN EN ISO 14644-14:2017-01 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) die Verweisungen wurden aktualisiert; b) die Literaturhinweise wurden aktualisiert; c) Literaturhinweise, die im Text nicht erwähnt werden, wurden entfernt; d) Norm redaktionell überarbeitet.
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 041-02-21 AA - Reinraumtechnik (SpA CEN/TC 243 und ISO/TC 209)
Zuständiges europäisches Arbeitsgremium
CEN/TC 243 - Reinraumtechnologie
