ISO 11952
Chemische Oberflächenanalyse - Rastersondenmikroskopie - Bestimmung geometrischer Kenngrößen mit Rastersondenmikroskopie: Kalibrierung von Messsystemen
Surface chemical analysis - Scanning-probe microscopy - Determination of geometric quantities using SPM: Calibration of measuring systems
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-08-16 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie