ISO 11952
Surface chemical analysis - Scanning-probe microscopy - Determination of geometric quantities using SPM: Calibration of measuring systems
Chemische Oberflächenanalyse - Rastersondenmikroskopie - Bestimmung geometrischer Kenngrößen mit Rastersondenmikroskopie: Kalibrierung von Messsystemen
Responsible national committee
NA 062-09-103 AA - Surface chemical analysis and scanning probe microscopy