ISO 11952
Chemische Oberflächenanalyse - Rastersondennmikroskopie - Bestimung geometrischer Kenngrößen mit Rastersondenmikroskopie: Kalibrierung von Messystemen
Surface chemical analysis - Scanning-probe microscopy - Determination of geometric quantities using SPM: Calibration of measuring systems
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-08-16 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie