Technische Regel
[AKTUELL]
ISO/TR 19319
ISO/TR 19319
Chemische Oberflächenanalyse - Grundlegende Ansätze zur Bestimmung der lateralen Auflösung und Schärfe von strahlenbasierten Verfahren
Titel (englisch)
Surface chemical analysis - Fundamental approaches to determination of lateral resolution and sharpness in beam-based methods
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-08-16 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie
