ISO/TR 16268
Chemische Oberflächenanalyse - Vorschlag für ein Verfahren für die Zertifizierung der zurückbehaltenen Partikel-Fluenz eines durch Ionenimplantation hergestellten Arbeits-Referenzmaterials

Titel (englisch)

Surface chemical analysis - Proposed procedure for certifying the retained areic dose in a working reference material produced by ion implantation

NA 062-09-103 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie

ISO/TC 201/SC 2 - Allgemeine Verfahren

Ausgabe 2009-10

Originalsprache Englisch

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