Technische Regel
[AKTUELL]
ISO/TR 16268
ISO/TR 16268
Chemische Oberflächenanalyse - Vorschlag für ein Verfahren für die Zertifizierung der zurückbehaltenen Partikel-Fluenz eines durch Ionenimplantation hergestellten Arbeits-Referenzmaterials
Titel (englisch)
Surface chemical analysis - Proposed procedure for certifying the retained areic dose in a working reference material produced by ion implantation
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-08-16 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie
