ISO/TR 16268
Surface chemical analysis - Proposed procedure for certifying the retained areic dose in a working reference material produced by ion implantation
Chemische Oberflächenanalyse - Vorschlag für ein Verfahren für die Zertifizierung der zurückbehaltenen Partikel-Fluenz eines durch Ionenimplantation hergestellten Arbeits-Referenzmaterials
Responsible national committee
NA 062-09-103 AA - Surface chemical analysis and scanning probe microscopy