NA 062

DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)

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Norm [ZURÜCKGEZOGEN]

DIN EN ISO 3882
Metallische und andere anorganische Überzüge - Übersicht über Verfahren zur Schichtdickenmessung (ISO 3882:2003); Deutsche Fassung EN ISO 3882:2003

Titel (englisch)

Metallic and other inorganic coatings - Review of methods of measurement of thickness (ISO 3882:2003); German version EN ISO 3882:2003

Einführungsbeitrag

In der Norm sind die verschiedenen Verfahren, die für die Messung von Schichtdicken verwendet werden, zusammengefasst und deren Arbeitsprinzipien beschrieben.
Verfahren zur Schichtdickenmessung können entweder zerstörend oder zerstörungsfrei sein (Tabelle 1). Die in Tabelle 2 aufgeführten Angaben unterstützen die Auswahl typischer instrumenteller Verfahren zur Messung der Dicke. Für alle instrumentellen Verfahren gilt, dass die Anweisungen der Hersteller eingehalten werden sollten. Die für die unterschiedlichen Verfahren angegebenen Dickenbereiche hängen von den Schichtwerkstoffen, der Schichtdicke, den Grundwerkstoffen und den verwendeten Messgeräten ab (Tabelle 3). So kann z. B. mit Hilfe der Röntgenspektrometrie die Dicke einer Chromschicht gemessen werden, von Dicken ab 20 µm jedoch nicht mehr mit ausreichender Präzision.
Ähnlich verhält es sich bei Anwendung magnetischer Verfahren: sie können zwar zur Messung der Dicke einer Goldschicht auf einem Grundwerkstoff aus magnetischem Stahl angewendet werden, aber viele magnetische Geräte haben keine ausreichende Empfindlichkeit, um genaue Messungen von Goldschichten mit Dicken unter 2 µm durchzuführen.
Wenn ein Schiedsverfahren benötigt wird, sollte die für die jeweilige Schicht zutreffende Spezifikation herangezogen werden.

Änderungsvermerk

Gegenüber DIN EN ISO 3882:1995-01 und DIN 50982-3:1987-08 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Ergänzung von 4.4 Röntgenspektrometrische Verfahren; b) Überarbeitung von 5.2 Interferenzmikroskopische Verfahren; c) Ergänzung von 5.4 Verfahren mit dem Rastermikroskop; d) Überarbeitung von 5.5.2 und 5.5.3 Gravimetrische Verfahren; e) Aktualisierung von Tabelle 2.